機台操作手冊清單
機台名稱
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高分子化學氣相沉積系統 
高分子化學氣相沉積系統(PDS) 
wury 
2011/5/26 
2011/5/26
wury  
矽等向蝕刻系統 
矽等向蝕刻系統(XeF2) 
wury 
2011/5/26 
2011/5/26
wury  
快速熱退火系統 
快速熱退火系統(RTP) 
wury 
2011/5/26 
2011/5/26
wury  
NX2000奈米壓印系統 
NX2000奈米壓印系統 
wury 
2011/5/26 
2011/5/26
wury  
雙面對準曝光機 
Double Side Aligner Operation Manual and Remark 
oscar 
2011/5/26 
2011/5/26
oscar  
雙面對準曝光機 
Double-side aligner 雙面光罩對準曝光機 中文操作手冊 
oscar 
2011/5/26 
2011/5/26
oscar  
光阻去除系統 
光阻去系統(O2 Plasma) 
wury 
2011/5/26 
2011/5/26
wury  
Bonder 矽-玻璃陽極接合機 
Bonder 矽-玻璃 陽極接合機 操作手冊 
oscar 
2011/5/26 
2011/5/26
oscar  
RIE-200L 金屬反應式離子蝕刻系統 
RIE-200L 金屬反應式離子蝕刻系統 
oscar 
2011/5/26 
2011/5/26
oscar  
PECVD(SAMCO) 
PECVD(SAMCO)操作手冊-2011年6月24日上傳  
W10151 
2011/5/26 
2011/5/26
W10151  
記錄 1 到 10 共 15筆
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